教育訓練
為了讓客戶對於相關產品與應用有整體的了解，另外，也為了協助學術研究單位培育人才，雅森科技提供到場訓練課程、講座，歡迎業界、客戶、學界，預約報名。
課程對象
各半導體廠、研究機構、學術單位、科技協會
課程名稱
RF Plasma Generators and Matchers
授課安排
2 – 3 Hours
課程目標
真空電漿是半導體、光電、太陽能等產業之最主要製程，電漿電源又為其心臟。本課程由電漿產生之原理開始，逐步介紹各類型電漿電源的相關知識，及最新發展技術，再導入真空系統反應腔體之設計，讓學員對電漿蝕刻/沉積/濺鍍等薄膜系統有整體瞭解。
課程大綱
- Plasma Theory and Applications
- RF Plasma Generators
- Impedance Matching Networks
- Auto-Frequency Tuning Generators
- Coaxial Cables & Dummy Loads
- Chamber Overview
- System – RF Power Calibration
講師介紹
沈大欽 Adam Shern
講授課程：射頻、微波及直流電漿產生器
經歷
- TSMC 一廠製造部 組長
- LAM RESEARCH 業務經理
- ENI 亞太區 總經理
- 雅森科技 總經理
教學
- 各半導體廠 特約講師
- 工研院 產業學院 特約講師
- 台灣鍍膜科技協會 理事
- 科技部研討會電漿技術與應用論文評審
學歷
- 美國 雪城大學 電機碩士
- 台灣 政治大學 MBA
